SSC-RGA6500小分子在线质谱仪的主要应用方向，半导体工业、真空镀膜(PVD、CVD)、刻蚀、粒子加速器；CO2还原，程序升温脱附、化学化工、储能材料、硝酸根还原、燃料电池尾气检测、电-光-热催化、汽车尾气分析、电催化合成氨、热分析、固定床、电解水析氢/析氧、扣电-软包等电池产气、光催化水制氢燃料电池研究、发酵微生物呼吸气体监控、人呼吸监控、环境气体分析、地质分析、冶金过程、各种催化过程等等

产品详情：

SSC-RGA6500小分子在线质谱仪的主要应用方向，半导体工业、真空镀膜(PVD、CVD)、刻蚀、粒子加速器；CO2还原，程序升温脱附、化学化工、储能材料、硝酸根还原、燃料电池尾气检测、电-光-热催化、汽车尾气分析、电催化合成氨、热分析、固定床、电解水析氢/析氧、扣电-软包等电池产气、光催化水制氢燃料电池研究、发酵微生物呼吸气体监控、人呼吸监控、环境气体分析、地质分析、冶金过程、各种催化过程等等。

小分子在线质谱仪与TGA实现联用，能够快速地分析热重测试过程中逸出气体产物；在线质谱仪可与各种催化剂评价装置，反应釜，气相色谱等连用，在线实时检测过程中的气体组成及其含量；在线质谱仪可以与化学吸附仪连用，对程序升温过程中的逸出气体进行定性和定量分析。

产品优势：

1.   进样管加热，可达350℃

2.   易操作界面，10英寸彩色触摸屏，可全面控制仪器运行、采样分析、显示谱图

3.   可烘烤真空室至180℃

4.   可定制版本，如特殊进气系统、特殊外壳

5.   质量范围标配1-200amu；可选1-100amu、、1-300amu

6.   软电离选项(1-100eV)

7.   耗气量低(1-2sccm)

8.   响应快(驻留时间最短1ms/amu)

典型应用：

组分分析

  通过质量数判断进样气体组分，得到真空系统中的工业气体的成分和相对浓度信息，分析真空系统的密封性、脱附行为等，便于用户判断真空室及真空组件的状态，如下图中质谱图所示

过程检测/检漏

  在设置的质量数范围进行全扫描或选择扫描，长时间对某几类气体进行监控(含报警功能)以观察真空腔体内气体组分浓度随时间的变化，如下图中时间趋势图所示

技术参数及配置：

售后服务：

1.    安装、校准与试运行:仪器制造厂授权技术员在买方用户现场免费安装调试，技术指标合格。

2.    培训:提供技术服务，现场培训内容（包括仪器基本原理、操作使用及日常保养维修等），培训工作直至技术人员能独立操作为止。

3.    质保与维修:仪器厂商提供1年的免费保修服务。

4. 技术资料:提供仪器设备的安装、操作手册、维修保养手册等技术文件，及产品合格证、质量保证书和产品软件等全套资料。